7月，青銅劍第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目正在緊張施工中。該項(xiàng)目位于坪山區(qū)丹梓大道與光科三路交匯處西南角，自年初奠基以來(lái)，目前已完成基坑建設(shè)，施工方開(kāi)始建設(shè)主體。

這個(gè)項(xiàng)目被列入深圳市2021年重大項(xiàng)目清單，是深圳加快第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一處布局。按照規(guī)劃，這里將建設(shè)碳化硅功率器件研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅功率模塊封裝產(chǎn)線，項(xiàng)目總投資3.5億元，預(yù)計(jì)2023年4月建成投產(chǎn)，屆時(shí)碳化硅器件年產(chǎn)能將達(dá)200萬(wàn)只。

深圳產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)力趨強(qiáng)

第三代半導(dǎo)體被視為后摩爾時(shí)代實(shí)現(xiàn)芯片性能突破的核心技術(shù)之一。與上兩代相比，以氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)、金剛石為代表的第三代半導(dǎo)體材料具有更寬的禁帶寬度、更高的導(dǎo)熱率、更高的抗輻射能力、更大的電子飽和漂移速率等特性，使其在光電子和微電子領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。目前市場(chǎng)上火熱的5G基站、新能源汽車(chē)和光伏并網(wǎng)、高速軌道交通等都是第三代半導(dǎo)體應(yīng)用的重要領(lǐng)域。

作為中國(guó)集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)的重鎮(zhèn)之一，深圳IC產(chǎn)業(yè)近年來(lái)保持快速增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，構(gòu)建了以設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備和材料為重點(diǎn)的特色產(chǎn)業(yè)群。2020年，深圳IC業(yè)銷(xiāo)售收入為1727.26億元，產(chǎn)業(yè)規(guī)模增速達(dá)18.91%。其中，IC設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)規(guī)模已連續(xù)9年居全國(guó)城市首位。去年深圳IC設(shè)計(jì)企業(yè)數(shù)量達(dá)到229家，涌現(xiàn)出了深圳海思半導(dǎo)體有限公司、深圳市中興微電子有限公司、深圳市匯頂科技股份有限公司、深圳市比亞迪微電子有限公司、深圳市國(guó)微電子有限公司等一批IC企業(yè)。

近年來(lái)，深圳積極推進(jìn)IC全產(chǎn)業(yè)鏈布局，加大政策支持力度，推動(dòng)本地IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。包括Arm(中國(guó))總部落戶、成立第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新研究院、成立廣東省第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心、英飛凌大中華區(qū)智能應(yīng)用能力中心啟動(dòng)，產(chǎn)業(yè)鏈不斷夯實(shí)。

企業(yè)擔(dān)綱創(chuàng)新主體角色

2016年在深圳創(chuàng)立的基本半導(dǎo)體有限公司是國(guó)內(nèi)第三代半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新企業(yè)，曾參與發(fā)起成立了深圳第三代半導(dǎo)體研究院、廣東省未來(lái)通信高端器件創(chuàng)新中心。

基本半導(dǎo)體創(chuàng)始人兼董事長(zhǎng)汪之涵透露，目前公司已掌握碳化硅功率器件關(guān)鍵核心技術(shù)，圍繞芯片設(shè)計(jì)、制造工藝、封裝測(cè)試、驅(qū)動(dòng)應(yīng)用等環(huán)節(jié)，累計(jì)申請(qǐng)近200項(xiàng)國(guó)內(nèi)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

深圳愛(ài)仕特科技有限公司“基于第三代半導(dǎo)體SiC MOS的新一代電機(jī)控制器項(xiàng)目”曾獲得深圳市科創(chuàng)委2020年創(chuàng)業(yè)資助。今年4月，愛(ài)仕特公司在上海慕尼黑電子展上展示了第三代半導(dǎo)體碳化硅MOSFET系列產(chǎn)品，當(dāng)中就包括基于SiC模塊技術(shù)的電控系統(tǒng)。據(jù)悉，該公司自主研制的全SiC MOS功率模塊已開(kāi)始批量交付出口，與歐洲BMW車(chē)廠供應(yīng)商建立合作。

寶安區(qū)工信局6月26日對(duì)《深圳市第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目遴選方案》進(jìn)行了公示。方案顯示，由深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司作為意向用地單位建設(shè)的深圳市第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目,將建設(shè)碳化硅單晶和外延片生產(chǎn)線。項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年產(chǎn)值不低于21.9億元，將配套深圳本地客戶在汽車(chē)電子、5G通信、光伏能源等核心產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展需求。

6月29日，深圳正威金融控股有限公司完成了對(duì)成都海威華芯科技有限公司的增資擴(kuò)股，將整合正威電子信息產(chǎn)業(yè)集群、高端新材料產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈、專(zhuān)業(yè)智能制造能力等，聚焦第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵核心技術(shù)和重大應(yīng)用突破。

正在建設(shè)中的青銅劍第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地將同時(shí)建設(shè)第三代半導(dǎo)體研發(fā)中心、中歐創(chuàng)新中心孵化器等。該基地所處的坪山也因集聚了中芯國(guó)際、金泰克、基本半導(dǎo)體等重點(diǎn)企業(yè)，而被視為集材料、設(shè)備、設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試及下游應(yīng)用的第三代半導(dǎo)體發(fā)展高地。

前瞻布局瞄準(zhǔn)技術(shù)

攻關(guān)“火力點(diǎn)”

科技自立自強(qiáng)，需不斷淬煉攻克“卡脖子”難題的真功夫。通過(guò)鏈?zhǔn)角罢安季郑钲谡e極籌謀第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，支撐產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力提升。

6月28日，深圳市科創(chuàng)委啟動(dòng)了2022年技術(shù)攻關(guān)面上項(xiàng)目網(wǎng)上申請(qǐng)，其中包括多個(gè)與第三代半導(dǎo)體有關(guān)的課題，如面向第三代半導(dǎo)體SiC材料的超聲精密制造裝備及工藝研發(fā)、第三代半導(dǎo)體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)等。

《深圳市國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和二〇三五年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》中提出，加快發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),重點(diǎn)開(kāi)展高端電子化學(xué)品、第三代半導(dǎo)體材料、功能性有機(jī)發(fā)光材料等關(guān)鍵材料設(shè)計(jì)與制備工藝攻關(guān)。

今年的深圳市政府工作中也提到加快包括國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心在內(nèi)的重大創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)。未來(lái)5年要超前布局信息基礎(chǔ)設(shè)施，高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)智慧城市。這些都將進(jìn)一步推動(dòng)深圳第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。而深圳市2021年重大項(xiàng)目計(jì)劃中，多個(gè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目位列其中。

據(jù)了解，科技部已正式批復(fù)支持廣東省和江蘇省建設(shè)國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心，該中心由深圳市政府、江蘇省政府共同支持建設(shè)，設(shè)置深圳平臺(tái)和江蘇平臺(tái)，兩大平臺(tái)將實(shí)行共管共治、目標(biāo)協(xié)同、互相開(kāi)放，打造多地共建的有效管理運(yùn)行模式。

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級(jí)的關(guān)鍵期，深圳有望依托堅(jiān)實(shí)的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，集聚各方科研優(yōu)勢(shì)力量，成為推動(dòng)我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力整體躍升的重要力量。(王海榮)